fbpx Characterization of SiOxNy anti-reflective coatings using SIMS and RBS/HFS |الجامعة العربية الأمريكية
معلومات التواصل للدعم الفني ومساعدة الطلبة ... إضغط هنا

Characterization of SiOxNy anti-reflective coatings using SIMS and RBS/HFS

Authors: 
Adli A. Saleh
J. Bruce Rothmann
J.F. Kirchhoff
Jiro Yota
Chau Nguyen
Journal Name: 
Thin Solid Films
Volume: 
363
Issue: 
1
Pages From: 
355
To: 
356
Date: 
الجمعة, يناير 1, 1999